显然，压力传感器在汽车上有广阔的发展前景。 压力传感器可以广义地分为三类：压阻式压力传感器、电容式压力传感器和压电式压力传感器。 下面，本文将先介绍压阻式压力传感器的工作原理，再介绍应用于汽车的MEMS技术智能化硅压阻式压力传感器的工作原理。 压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件，它是基于压阻效应工作的。 所谓压阻元件实际上就是指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而改变。 扩散电阻正常工作时需依附于弹性元件，常用的是单晶硅膜片。 压阻芯片采用周边固定的硅杯结构，封装在外壳内。 在一块圆形的单晶硅膜片上，布置四个扩散电阻，两片位于受压应力区，另外两片位于受拉应力区，它们组成一个全桥测量电路。